Page 199 - Міністерство освіти та науки України

V A

-
V A V B
V B

-
V A V B
V K

V K

Рисунок 9.9 – Схема петлі зворотного

зв’язку.

На основі залежності зміни фази коливання зонда від
відстані голка-поверхня розроблена методика контролю

оптимальності вибору параметрів сканування в тапінг
режимі. Необхідність ведення такого контролю випливає з

того, що під час руху зонда сума сил, які діють з боку

198