а б Висота, нм Зсув фаз, град. мкм в Висота, нм Зсув фаз, град. мкм Рисунок 9.11 - Підведення зонда до поверхні в тапінг режимі з контролем фази коливання зонду а – голка слабо торкається поверхні; 203