Page 196 - Міністерство освіти та науки України

Рисунок 9.8 - Тест-об’єкти для

тестування зондів

а – нікелева матриця компакт-диску;

б - алмазоподібна плівка.

Для реєстрації відхилення консолі використовується
промінь лазерного діоду (потужність – 1 мВт, довжина хвилі

670 нм), який відбивається від кінчика консолі і потрапляє у
позиційно-чутливий фотодетектор.

Система зворотного контролю мікроскопів серії

NanoScope виконує дві основні функції: 1) генерування
напруг для керування X-Y рухом п’єзосканера; 2) підтримка

постійної величини вхідного сигналу від системи

детектування мікроскопу (рис. 9.5.). Виконання останньої
функції забезпечується замкненою петлею зворотного

195