Page 200 - Міністерство освіти та науки України

поверхні на зонд повинна врівноважуватись силою пружної

деформації консолі зонду. Вказана умова виконується в дуже
малому інтервалі відстаней голка-поверхня. Тому після

автоматичного опускання зонда до поверхні в більшості

випадків виникає необхідність точнішого підведення, яке
здійснюється в ручному режимі. Зрозуміло, що в цьому

випадку для запобігання руйнуванню голки та поверхні
внаслідок надто сильного тиску необхідний контроль за

процесом підведення. В контактному режимі сканування
такий контроль можна провести за допомогою реєстрації

кривих опускання та відриву зонду – так званих, силових

кривих (рис.9.10).
Основні точки силової кривої підведення зонда до поверхні

в контактному режимі наступні: А – зонд ще не ввійшов в
контакт з поверхнею; В – зонд знаходиться на відстані, на якій

спрацьовують притягальні Ван-дер-Ваальсові сили; С – зонд
ввійшов в безпосередній контакт з поверхнею і під дією

притягальної сили вигнувся так, що спрацювала система

зворотного контролю; С-D – зонд наближається ще ближче,
аж поки не вигнеться в другий бік; D-Е – сканер, реагуючи на

199