Page 201 - Міністерство освіти та науки України

сигнал зворотного зв’язку відводить зонд назад; Е – сила

притягання рівна нулю; Е-А – зонд відривається від поверхні.

100 D B A 50

Викривлення консолі, нм -100 C 25 Сила взаємодії зонд-поверхня, нН
0

-200
E 0
400 300 200 100 0
Видовження сканера в напрямку осі Z, нм

Рисунок 9.10 - Приклад силової кривої

для контролю підведення зонда до

поверхні зразка в контактному режимі.

Використання вказаного способу контролю величини

силової взаємодії зонд-поверхня для тапінг режиму веде до
руйнування зонда, що викликане більшою (порівняно із

зондами для контактного режиму) жорсткістю та крихкістю

200