Page 194 - Міністерство освіти та науки України
P. 194
Приведені зображення тестових об’єктів, зняті досконалим
(вверху) та пошкодженим (внизу) зондами.
Так, при тестуванні зондів, які повинні
використовуватись для дослідження поверхонь з розмірами
деталей 20 нм і більше в якості тест-об’єкту
використовується нікелева майстер-матриця та штамп
компакт-диску. Якщо ж розміри деталей досліджуваної
поверхні менші 20 нм – використовується алмазоподібна
плівка з голчастими виступами.
Система детектування та зворотного зв’язку. Головка
АСМ виконує не тільки функцію переміщення зонду над
поверхнею, а й генерує сигнал відхилення коромисла зонду,
або сигнал зворотного зв’язку від самого зонду.
193
