Page 202 - Міністерство освіти та науки України

консолі. Емпіричний метод дає можливість надійного

контролю сили тиску голки на поверхню безпосередньо в
процесі ручної корекції відстані зонд-поверхня перед

скануванням.

Для оцінки оптимальності вибору параметрів сканування
реєструється профіль поверхні та зсув фаз при прямому та

зворотному ході сканера вздовж однієї і тієї ж лінії поверхні .
При недостатній відстані зонд-поверхня “прямий” та

“зворотній” профіль не співпадатимуть . Однак при реєстрації
сильно розвинених рельєфів незначні відхилення між

профілями виявити важко в зв’язку з тим, що неспівпадання

мають місце на перегинах рельєфу (різких виступах та
впадинах), які не проглядаються при значних перепадах висот.

В той час, як зсув фази є особливо чутливим саме до перегинів
рельєфу. При однаковій силі взаємодії зонд-поверхня на

підвищеннях рельєфу та у заглибинах зсув фази чітко
реєструватиметься, чого не спостерігається на нижньому

графіку рис. 9.11а (у заглибинах зсув фази рівний 0). При

оптимальному підведенні зонду “прямий” і “зворотній”
профілі співпадають (рис 9.11б). Однак профілі співпадатимуть

201