Page 191 - Міністерство освіти та науки України
P. 191
камкодера.
П’єзосканер є однією з основних частин АСМ і визначає його
роздільну здатність. Модульна конструкція сканера G628
забезпечує широке поле сканування, високу роздільну
здатність, та низький рівень шуму (0,05 нм у вертикальному
напрямку).
Кожен сканер має властиву тільки йому нелінійність, тому
сканери потребують індивідуального калібрування. Кожен
сканер проходить калібрування після виготовлення, але з часом
його властивості змінюються, тому в процесі експлуатації для
досягнення високої точності вимірювань потрібна регулярна
перевірка лінійності та чутливості сканера.
Зонд, як і сканер, є визначальним елементом при отриманні
високоякісних зображень. При дослідженнях елементів поверхонь
співмірних із кінчиком вістря зонду, його якість і форма
набувають виключного значення.
АСМ серії Dimension 3000 комплектуються кремнієвими
зондами для вимірювань у тапінг режимі та зондами на основі
нітриду кремнію (Si 3N 4) для вимірювань у контактному
режимі (рис.9.7).
190
