Page 193 - Міністерство освіти та науки України
P. 193
Консоль
25,0
Голка 10,0
35,0
Консоль 45,0
Голка 17,0
а б
Рисунок 9.7 - Схематичне зображення зондів для
АСМ
а – нітридо-кремнієвий зонд для контактного режиму;
б – кремнієвий зонд для тапінг
режиму
Найкращими тестовими структурами служать об’єкти із
типовими елементами рельєфу стабільними у часі, висота
яких співмірна із висотою рельєфу досліджуваного зразка (рис.
9.8).
192
