Page 192 - Міністерство освіти та науки України

Зонди з нітриду кремнію є недорогими та
достатньо довговічними для їх застосування при АСМ
вимірюваннях у контактному режимі. Вістря зонду
представляє собою піраміду, утворену перетином
кристалографічних площин <111> монокристалу
кремнію (рис.9.7а).
Зонди для тепінг режиму витравлені з кремнію і володіють

високими функціональними характеристиками та
найкращою геометрією серед усіх зондів, які зараз

випускаються. Ідеальна геометрія зонду (вістря) показана на

рис. 9.7б. Точність дотримання кутів складає 2 . Висота
піраміди складає 10-

15 мкм (в залежності від марки). Радіус заокруглення вістря

піраміди складає 5-10 нм (для високоякісних зондів).
Оскільки в процесі транспортування, встановлення у

мікроскоп та роботи вістря зонду може руйнуватись, або
захопити сторонні мікрочастинки, зонд необхідно тестувати

перед початком та у процесі вимірювань.

191