Page 173 - Міністерство освіти та науки України

силовий мікроскоп (ССМ) мають свої, строго визначені,
сфери застосування.
Практично з моменту зародження методу СЗМ стало
очевидним, що з допомогою гострих твердотільних зондів можна
не тільки контролювати, але й змінювати поверхню з роздільною
здатністю порядку радіусу кривизни голки зонда. Спочатку для
цього використовувався тільки СТМ шляхом дії на поверхню
імпульсами струму . Пізніше для літографії почали
використовувати також електричні польові, електронні,
гальванічні, теплові, оптичні, механічні впливи, які давали
можливість контролювати силу впливу.
Метод СТМ, базується на ефекті залежності величини
тунельного струму між голкою-зондом і досліджуваною
поверхнею від відстані голки до поверхні. Тунельні
мікроскопи, які володіють роздільною здатністю порядку
1 Å в площині зразка і порядку 0,05 Å по нормалі до
поверхні, показують виключно високу чутливість до
особливостей поверхні атомарних розмірів. Але, оскільки,
в основі роботи СТМ лежить умова електропровідності, то
наявність діелектричних ділянок на поверхні повністю
виключає можливість використання цього приладу.
Силові мікроскопи чутливі до об’єктів дещо більших
розмірів (порядку 0,5-10 Å), але працюють як на провідних,
так і на діелектричних поверхнях і в одному циклі крім
топографії здатні картографувати й інші властивості
поверхні.
Хоча силовий мікроскоп теоретично може відобразити
поверхню будь-якого зразка, проте практично розміри поверхні
обмежуються розмірами зонда та конструкцією сканера,
швидкістю сканування, швидкодією та інформаційною ємністю

172