Page 175 - Міністерство освіти та науки України

Y

Рисунок 9.1 - Рух сканера
при дослідженні
області поверхні.
X крок сканування

Відхилення від лінійної залежності (9.1), зумовлене власною
нелінійністю п’єзоелектричного матеріалу, гістерезисом,
дрейфом, старінням матеріалу та взаємозалежністю різних
напрямків руху сканера, веде до неспівпадання руху сканера із
траєкторією, зображеною на рис.9.1.
Оскільки вказана особливість сканера може
впливати на вірогідність відображення даних,
існують конструктивні та програмні рішень, які
забезпечують лінійну залежність деформації
сканера від прикладеної напруги в процесі
вимірювань.
Суттєвим чинником, який стримував розвиток АСМ була якість
зондів. Тільки в 1990 р., коли була розроблена технологія
масового виробництва зондів із субнанометровою точністю
дотримання їх геометричних параметрів, стало можливим широке
використання АСМ як інструменту досліджень
В основі масового виробництва АСМ зондів лежить
технологія селективного анізотропного травлення

174