Page 176 - Міністерство освіти та науки України

кремнію. Чутливим елементом АСМ зондів є консолі

(cantilever) із наперед заданою жорсткістю та резонансною
частою із гострою голкою (або і без неї) на вільному кінці.

Крім зондів на основі кремнію розробляються і інші

технології, зокрема з використанням в якості голки зонда
нанотрубок (порожніх або з наповнювачами) або молекул

фулерену С 60 в якості зображального елементу голки.
Експерименти показують, що голка з фулереном здатна

забезпечити атомарну роздільну здатність і високий рівень
контрасту, володіє дуже високим модулем пружності (~

1-5 ТПа), а тому високою механічною стійкістю і резонансною

частотою (більше 200 кГц).
Граничні значення вертикальної роздільної здатності,
-18
знайдені з квантово-механічних принципів, складають ~ 10
-15
Н по силі та ~ 10 м по відстані . В сучасних конструкціях
-12
АСМ досягнуто роздільної здатності відповідно ~ 10 Н та
-12
~ 10 м (наприклад, на гладких атомарно чистих поверхнях;
роздільна здатність, у цьому випадку, визначається не

радіусом кривизни голки, а формою атомного кластера її
кінчика. Горизонтальна роздільна здатність АСМ

175