Page 169 - Міністерство освіти та науки України

багато різноманітних технологій їх одержання на
твердотільній підкладинці.
Існуючі методи осадження тонких плівок можна
згрупувати в залежності від основних
характеристик процесів (cередовище-носій,
осаджувані частинки, метод інжекції осаджуваних
частинок в середовище, механізм переносу частинок,
реакція на поверхні підкладинки): окислення,
осадження, електрофорез, гальванопокриття,
піроліз, електростатичне тонування, хімічне осад-
ження з парів, механічне нанесення, епітаксія з
рідкої фази, молекулярно-променева епітаксія тощо.
Вибір того чи іншого способу осадження
визначається необхідними хімічним складом,
чистотою, стехіометрією і морфологією
осаджуваного матеріалу та його фізичними
властивостями.
Плівки володіють багатьма специфічними
властивостями, які відрізняються від
властивостей того ж матеріалу в масивному стані .
Основні причини таких відмінностей полягають в
наявності перехідної області плівка-підкладинка,
розмірному ефекті та фазовій і структурній
нерівноважності.
Дослідження таких плівок, встановлення
залежностей між їх основними фізичними
характеристиками, дає можливість створити нові
методи та засоби вимірювання та контролю
різноманітних фізичних величин, а самі такі
дослідження перетворюються у самостійну область
вимірювальної техніки. Розглянемо основи
168