Page 177 - Міністерство освіти та науки України

визначається двома факторами: розмір кроку зображення і

мінімальним радіусом кривизни голки, але переважання
одного над іншим залежить від розміру сканованого

зображення. У випадку, коли крок сканування співмірний з

радіусом кривизни голки, роздільна здатність АСМ
визначатиметься за формулою

d min 2R z z h min (9.2)

і залежатиме від радіусу кривизни голки зонда. Слід зауважити,
що формула (9.2) справедлива тільки для твердих поверхонь, які
не деформуються під дією голки.
З формули (9.2) видно, що зображення в АСМ – це згортка
зображень поверхні та зонда. Якщо радіус кривизни голки
менший типового розміру деталей поверхні, то АСМ відображає
реальну поверхню зразка. Якщо ж радіус кривизни голки значно
більший типового розміру деталей поверхні, то АСМ відображає
форму зонда. Знаючи її (наприклад, з даних растрової електронної
мікроскопії або за допомогою тестових об’єктів) можна
реконструювати зображення, тобто максимально наблизити
експериментальне зображення поверхні до реального шляхом
розв’язання задачі, оберненої до згортки двох зображень –
деконволюції.

176