Page 178 - Міністерство освіти та науки України

Голка
Голка
h
R
z z
R

Поверхня зразка

d d
а б Рисунок
9.2 - Роздільна здатність в АСМ у випадку однакових (а) та різних (б)
висот виступів.

Третій базовий елемент зондових мікроскопів
усіх типів – це система зворотного зв’язку для
управління і корекції взаємодії зонда з
досліджуваною поверхнею.
Існують різні способи контролю деформації зонда під
час сканування рельєфу поверхні зразка, зокрема, системи
зворотного зв’язку, в яких в якості датчика відхилення
коромисла від вихідного положення використовується
провідний зонд, позиційно чутливий детектор, система
конденсаторів, оптична лінза, п’єзорезистор, п’єзоелектрик
та інші.
В залежності від типу поверхні досліджуваного
матеріалу та поставленої задачі мікроскоп
використовується в різних режимах роботи:
- контактний режим, при якому зонд безпосередньо
торкається голкою поверхні зразка і працює на відштовхуванні від
поверхні (рис. 9.3а). Типова відстань між кінчиком голки і
177