Page 170 - Міністерство освіти та науки України

атомно-силової мікроскопії як методу
еспериментального моделювання поверхні твердого
тіла.
Ідея скануючого тунельного мікроскопа запропонована Р.
Янгом ще в 1966 році , а у 1971 році його групою був створений і
випробуваний перший скануючий тунельний мікроскоп –
“Топографінер”. В ньому було реалізовано контрольоване
субнанометрове переміщення зонду, що дозволяло реєструвати
моноатомні сходинки.
Початком другого етапу у розвитку скануючої зондової
мікроскопії вважають роботи Бінніга з колегами. У 1982 році
співробітники швейцарської філії фірми IВМ вчені Г. Бінніг і X.
Рорер. оприлюднили свій винахід – скануючий тунельний
мікроскоп, продемонструвавши атомарне зображення реальної
поверхні кремнію при допомозі твердотільних зондів. Ця
технологія виявилася революційною в розвитку досліджень
властивостей поверхонь і в 1986 році винахідники одержали
Нобелівську премію, а дослідники – новий клас вимірювальних
приладів для дослідження фізичних властивостей поверхонь
різноманітних матеріалів, так звану скануючу зондову мікроскопію
(СЗМ).
Ідеї та інженерно-конструкторські рішення, висунуті Г.
Біннігом і X. Рорером, суттєво спрощували апаратну реалізацію
даного методу, що дозволило вже у 1990 р. створити перший
комерційний СЗМ. Таким СЗМ став NanoScope II американської
фірми Digital Instruments, мікроскопи якої зараз є
загальновизнаним стандартом, а останні розробки – NanoScope IV,
відкривають дійсно величезні можливості для дослідників. Менше
ніж за 20 років свого існування зондові наноскопічні установки із
ком’ютерним управлінням та аналізом даних стали досить

169