Page 168 - Міністерство освіти та науки України
P. 168
9 МОДЕЛЮВАННЯ ПРОЦЕСІВ КОНТРОЛЮ
ПОВЕРХНІ З ВИКОРИСТАННЯМ МЕТОДУ
АТОМНОЇ СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ
Властивості матеріалів визначаються кількістю і типом атомів,
які входять до його складу, та їх розміщенням у просторі відносно
один одного. Деякі властивості пов’язані з хімічним складом та
кристалічною структурою, які пояснюються так званою “зонною
теорією твердого тіла”. З позицій цієї теорії можна пояснити
взаємозв’язок між тепловими та електричними властивостями,
існуванням ефекту Холла тощо. Інші властивості цією теорією не
пояснюються і необхідно застосовувати емпіричні методи. У
деякому наближенні можна стверджувати, що властивості
матеріалів суть однакові у просторі і тому вивчення поверхні дало
б можливість оцінити матеріал в цілому. І хоча таке твердження у
ряді випадків хибне, тим не менше вивченню властивостей
матеріалів за їх поверхнями присвячено цілий ряд робіт, а саме
таке вивчення окреслило зміст окремого напряму фізики –
“фізика поверхні”. Важливо також те, що існує багато процесів,
які використовуються у різноманітних технологіях і залежать від
використання поверхні твердих тіл.
Так, наприклад, широко використовувані у
електроніці полікристалічні плівки, зокрема,
напівпровідників: полікристалічні сполуки (ZnS,
CdS, ZnSе, PbS, InSb, ZnO, GaAs та ін.) - це опто-
і акустоелектроніка, екрани у пристроях
відображення інформації та електроакустичні
первинні перетворювачі тощо.
Дослідження структури та властивостей тонких
плівок активно почали проводитись в 60-70-х роках
минулого століття. За цей час було розроблено
167