Page 74 - 6400

тані для контролю товщини покриття. Їх розділяють на три
групи: широко застосовувані, застосовувані й рідко застосову-
вані. До першої групи відносять магнітні, вихреструмові і ра-
діаційні; до другого – електричні, радіохвильові, оптичні; до
третього – теплові й акустичні.
Радіометричні методи основані на використанні власти-
вості радіоактивного випромінювання вступати у взаємодію з
матеріалом. Під час впровадження пучка радіоактивних части-
нок в матеріал їх розсіювання відбувається у всіх напрямках.
Частка зворотньо розсіяних частинок використовується, як
непряма міра товщини розсіюючого шару. Інтенсивність зво-
ротнього розсіювання під час постійних параметрах джерела
випромінювання (радіоізотопа) і постійної геометрії давачів
залежить від порядкового номера елемента в періодичній сис-
темі і товщини шару, що вимірюється. Метод зворотнього ро-
зсіювання застосовується для вимірювання товщини покриття
під час всіх поєднаннях матеріалів, коли порядкові номери (Zo
– матеріалу основи, Zп – матеріалу покриття) значно відріз-
няються один від одного, зокрема коли виконується умова
|Zo–Zn| >3.
Метод, який базується на вимірюванні поглинання, мо-
жна використовувати під час будь-яких поєднаннях мате-
ріалів. В залежності від типу джерела випромінювання маса
поєднання основний матеріал – покриття на одиницю по-
2
верхні може складати приблизно від 1∙10-1 до 2∙104 мг/см .
Точність вимірювань складає ± 3 до ± 10 % залежно від мате-
ріалу.
Рентгенофлуоресцентний метод – збудження атомів за
допомогою бета- або квантового випромінювання, під час
якого збуджені атоми емітують рентгенівське випроміню-
вання, інтенсивність якого залежить від числа випроміню-
ючих атомів, тобто від товщини шару – особливо успішно за-
стосовується під час вимірювання товщини дуже тонких пок-
риттів – приблизно до 10 мкм. Під час цього повинна викону-
ватися умова |Zo–Zn| ≥ 1. Діаметр поля вимірювання повинен
бути не менше 10 мм.

73