Page 78 - 6400

товщину покриттів із струмопровідного або напівпровідни-
кового матеріалу, нанесеного на неструмопровідну основу.
Провідність покриття залежить від його товщини, причому
точність вимірювання може складати ± 2 %. Процес вимірю-
вання дискретний.
У разі вимірювання товщини покриття з струмонепро-
відного матеріалу на струмопровідній основі зручний метод
ємності, під час якого діелектричні властивості покриття
впливають на ємність конденсатора, включеного в коливаль-
ний контур (рис.7.2, д). Товщина покриття пропорційна квад-
рату частоти коливального контура. Метод придатний для ви-
мірювання товщини покриттів від 0,01 мкм і точності ви-
мірювань ± 5 %.
Суть методу вихрових струмів полягає в тому, що елек-
тричний струм, який наводиться магнітним потоком котушки
в покритті і основі створює вторинний магнітний потік, на-
прямлений назустріч першому (рис.7.1, е). Під час зменшення
опору вторинного струму, у випадку добре провідних матері-
алів, збільшується вплив вторинного потоку. Останній змінює
первинний струм котушки, який вимірюється міліампер-
метром, покази якого відповідають товщині покриття під час
постійних параметрів електричної провідності. Метод дозво-
ляє здійснювати лише дискретні вимірювання із середньою
точністю від ± 3 до ± 5 %.
Метод найчастіше застосовують для таких поєднань ма-
теріалів:
– струмонепровідні покриття на електропровідному не-
феромагнітному матеріалі (діапазон вимірюваної товщини від
0 до 500 мкм);
– електропровідний неферомагнітний шар на струмоне-
провідній основі (можна вимірювати товщину від 1 мкм до
декількох мм);
– електропровідне неферомагнітне покриття на електро-
провідній основі (глибина проникнення вихрових струмів по-
винна перевищувати товщину покриття, а електрична провід-
ність матеріалу покриття і підкладки повинні бути достатньо
різні).

77