Page 76 - 4687

Втрати енергії при гальмуванні іонів у поверхні твердого
тіла описуються рівнянням

dE / dx  N (S  S ), (1.26)
1 a n e

або
dx  dE /[N (S  S )], (1.27)
1 a n e

де Е i - початкова енергія іона;
х - глибина проникнення іону в поверхню;
dЕ i/dx - втрати енергії в шарі dx;
S n, S е - ядерна та електронна гальмівні здатності матеріалу
поверхні;
N a - число атомів в одиниці об'єму мішені.
Загальна гальмівна здатність оброблюваного матеріалу S
визначається з виразу:

1  dE   dE  
S  S  S    i    i   . (1.28)
n e N  dx  dx
a  n  e 

Зазвичай енергія бомбардувальних іонів становить Е i =
6
3
10 …10 еВ. Глибина проникнення (х) залежно від Е i і S
становить не більше 0,5…0,9 мкм. Дози імплантованих іонів
16
18
2
знаходяться в межах 10 …10 см . Тривалість імпульсу
-6 -7
відповідає значенням 10 …10 с при щільності струму іонів
2
10…200 А/см .
У поверхневому шарі при гальмуванні
високоенергетичних іонів проходить ряд процесів, які
призводять до зміни структури і властивостей матеріалу в
дуже широких межах, найбільш значні з них такі:

75