Page 78 - 4687
P. 78
елемента, наприклад покриття-плівки при виробництві
інтегральних схем, До теперішнього часу розроблено велику
кількість методів нанесення покриттів різного призначення з
багатьох матеріалів. Для аналізу фізико-хімічних процесів,
пов'язаних з нанесенням покриттів, їх доцільно
систематизувати за умовами формування. Видається
можливим виділити такі групи покриттів, що формуються на
твердій поверхні: твердофазні, рідкофазні, порошкові і
атомарні. Механізм і кінетика формування, як видно зі схем,
наведених на рисунку 1.21, істотно різні.
Рисунок 1.21 – Схеми формування покриттів на твердій
поверхні
Твердофазні покриття
Для твердофазних покриттів використовують заготовки
необхідних розмірів і товщини. Заготовки укладають на
поверхню виробів і закріплюють. Властивості матеріалу
заготовок значною мірою визначають якісні показники
твердофазних покриттів, зокрема когезійну міцність і
кількість несуцільностей. Адгезійна міцність забезпечується
різними технологічними прийомами.
77
