Page 77 - 4687

- спотворення кристалічної гратки і насичення матеріалу
різного роду недосконалостями внаслідок утворення
радіаційних дефектів;
- зміна типу і параметрів гратки імплантованими іонами;
- протікання фазових перетворень;
- синтез сполук при дозі іонів, відповідного
стехіометричного складу;
- зміна хімічного складу, особливо при великих дозах
іонів;
- руйнування кристалічних граток за високих значень Е i
та впровадженої дози.
Аморфізація здійснюється внаслідок ініціювання
каскадів зміщень атомів у кристалічній гратці при взаємодії з
9 13
іонами потоку за дуже короткий час (10 …10 с). Такий
механізм впливу аналогічний швидкості охолодження
15
13
матеріалу до значень 10 …10 К/с, за якої, як відомо, багато
матеріалів переходять в аморфний стан. Каскад зміщень
атомів і концентрація дефектів у матеріалі сильно залежать
від маси іонів. Бомбардування важкими іонами, що
переважають за масою атоми матеріалу, найбільш ефективна.
Модифікування поверхонь іонним впливом відноситься
до трудомістких, дорогих технологічних процесів. До них слід
вдаватися у виняткових випадках, наприклад для отримання
поверхонь з особливо високими значеннями твердості,
зносостійкості, корозійної стійкості та інших експлуатаційних
властивостей, особливо стосовно до приладобудування і
виробництва радіоелектронної апаратури.
1.2.3 Зовнішні покриття
Практичне значення зовнішніх покриттів дуже велике.
Нанесення зовнішніх покриттів дозволяє не тільки вирішувати
завдання зі зміни фізико-хімічних властивостей вихідних
поверхонь, але також відновлювати їх після експлуатації.
Зовнішні покриття часто виконують і роль конструкційного

76