Рисунок 1.20 – Схема іоної гармати (а) і взаємодії іонів з атомами поверхні (б):1 - витягуючий електрод;2 - фокусуюча лінза; 3 - прискорювач іонів; 4 - діафрагма; 5 – електро- магнітний сепаратор; 6 - електромагнітнi лінзи; 7 - виріб 74