Page 73 - 4687

електронів. Одиночні взаємодії при електрон-електронному
розсіянні витрачають енергію іонів на іонізацію і збудження
атомів твердого тіла.
На рисунку 1.19, б показані основні процеси взаємодії
прискорених електронів з твердим тілом стосовно до
створення внутрішніх покриттів. Втрати енергії електронами в
основному пов'язані з непружним розсіюванням.
Розглянутий механізм взаємодії прискорених електронів
з поверхнею твердого тіла дозволяє зробити висновок, що
найбільший ефект при опроміненні пов'язаний з активацією
поверхневих атомів. Це може бути використано при нанесенні
зовнішніх покриттів, одержуваних конденсаційно-вакуумним
осадженням з парової фази. При гальмуванні електронів
теплова енергія в основному виділяється в приповерхневому
шарі. Стає можливим використовувати цю закономірність для
збільшення адгезійної міцності тонких покриттів, формованих
з атомарних (молекулярних) потоків.
Взаємодія з іонними потоками. У зв'язку з близькістю
мас іонів у потоці і атомів у твердому тілі можливість їх
взаємодії, що приводить до зміни фізико-хімічних
властивостей у поверхневому шарі, різко зростає. На рисунку
1.20, а приведена схема іонно-променевої установки – іонної
гармати. Прискорення іонів до декількох десятків
кілоелектрон-вольт здійснюється в генераторі іонів. На
практиці використовують як статичні пучки іонів, так і
імпульсні. При іонному бомбардуванні можуть бути
використані позитивні та негативні іони і навіть нейтральні
атоми. Найбільш часто використовують іони з позитивним
зарядом. Можливе використання іонів практично всіх
елементів і деяких молекулярних іонів у різних зарядових
станах. При русі іонів у вакуумі ймовірна їх небажана
взаємодія із залишковими газами камери. Для вільного
-2
пробігу іона в 1 м вакуум в установці повинен бути менше 10
Па.
72