Page 74 - 4687

Як і при електронному впливі, можливі як пружні, так і
непружні зіткнення електронів з твердим тілом.
Пружними (ядерними) зіткненнями називають такі, за
яких енергія іонів передається атомам твердого тіла. Процес
супроводжується сильною ударною взаємодією іонів. Атоми,
що отримали в результаті зіткнення енергію іона, зміщуються
з положення рівноваги і можуть покинути цей вузол. У
результаті утворюється вакансія і атом у міжвузлі – виникає
радіаційний дефект. Генерація радіаційних дефектів у
протиповерхневому об'ємі матеріалу призводить до
проходження різних процесів, що змінюють властивості
поверхневого шару. З'являється потужний засіб для
контрольованого керування властивостями при створенні
внутрішніх покриттів.
Непружні зіткнення (електронні) - зіткнення, в яких
енергія іона передається електронам. При цьому втрачається
невелика частина енергії іона і не відбувається помітного
розсіювання іонів через занадто велику різницю мас
взаємодіючих частинок.
Втрачаючи свою енергію при ядерних та електронних
взаємодіях, іони сповільнюються і, нарешті, зупиняються
всередині поверхні твердого тіла - проявляється механізм
впровадження іонів. Технологічні процеси отримали назву
іонного легування або іонної імплантації.

73