Page 71 - 4687
P. 71

Взаємодія  з  електронними  потоками.  Для  створення
           високоенергетичних.  електронних  потоків  застосовують
           пристрої,  які  називаються  електронними  гарматами  (ЕГ).
           Спрощена  схема  електройной  гармати  наведена  на  рисунку
           1.19, а. Емітовані електрони з катоду 1 формуються керуючим
           (фокусуючим)  електродом  2,  на  який  подається  негативний
           потенціал.  Прискорювальна  напруга  U 0  подає  позитивний
           потенціал на аноді 3 і оброблюваному виробі 6. Концентрація
           енергії   в   плямі    взаємодії   регулюється     фокусуючою
           електромагнітної  лінзою  4.  Керування  пучком  електронів
           (сканування)  забезпечується  відхиляючою  лінзою  5.  Енергія
           електронів  регулюється  в  широких  межах  прискорювальною
           напругою      U 0    і     становить      10…150       кВ.     У
           електроннопроменевих        технологіях     зазвичай     енергія
           електронів не перевищує 100…200 кеВ.
                При пружному зіткненні електрону з нерухомим атомом
           максимальна      кількість   переданої     кінетичної    енергії
           визначається  співвідношенням  мас  взаємодіючих  частинок  і
           не перевищує декількох сотих часток відсотка від початкової
           енергії електрона (Е 1), Слід зазначити, що при значеннях  Е 1,
           рівних  сотням  кеВ  і  одиницям  МеВ,  переданої  енергії
           електроном  стає  достатньо  для  вибивання  атома  з
           кристалічної гратки. У кожному атомі пружного розсіювання
           первинний  електрон втрачає  енергію  дискретними  порціями,
           відповідними  кванту  енергії  –  фотону.  Якщо  при  пружному
           зіткненні електрон не може передати атому енергію, достатню
           для збудження фотона, то після розсіювання зміниться тільки
           напрямок його руху, а енергія залишиться незмінною.
                При  непружному  зіткненні  відбувається  гальмування
           електронів  (непружне  розсіювання),  у  результаті  якого
           електронна  система  твердого  тіла  збуджується.  Розрізняють
           два  види  електрон-електронних  збуджень  у  твердому  тілі:
           колективні  й  одиночні.  При  колективному  збудженні
           первинний    електрон    взаємодіє    з     системою    валентних
                                          70
   66   67   68   69   70   71   72   73   74   75   76