Page 68 - 4687

вуглецевмісному газовому середовищі, що забезпечує
утворення атомарного вуглецю. Як газові середовища в
основному використовують оксид вуглецю і вуглеводні,
реакції утворення активного вуглецю при використанні
оксиду вуглецю і металу наведені нижче:

2CO→С↓+СO 2, (1.18)

CH 4 → С↓ + 2Н 2. (1.19)

За аналогічними реакціями утворюються дифундуючі
металеві та неметалеві елементи з багатьох летких сполук,
наприклад:

2AlС1 3→2Аl↓+ЗС1 2; (1.20)

SiH 4→Si+2Н 2; (1.21)

B 2Н 6→2В↓+ЗН 2 (1.22)

Відповідно до наведених реакцій процеси називають
алітуванням, силіціюванням і боруванням. Наведені приклади
відображають лише невелику частину практично
використовуваних газофазних реакцій.
Парофазна взаємодія. Багато дифундуючих елементів
можуть бути підведені до поверхні з парової фази, яку
одержують у вакуумі випаровуванням або розпиленням
твердого матеріалу. Найбільший ефект досягається при
збудженні атомів у потоці або їх іонізації. Дифузійні процеси
в шарі проходять відповідно до вище викладених законів
дифузії: (1.13) - (1.16).
Рідкофазна взаємодія. Використовуються два види
рідинних розплавлених середовищ: металеві та сольові.
Термодифузійне насичення здійснюється при зануренні
67