Page 179 - Міністерство освіти та науки України

поверхнею складає d (0,5-0,7)a, де а – період кристалічної гратки
поверхні;
- безконтактний режим - модуляційні методики,
які здійснюються на великих відстанях (від десяти
до сотні ангстрем) зонд – поверхня (рис. 9.3б). В
такому безконтактному режимі при побудові
зображення поверхні детектуються амплітуда,
частота або фаза коливань зонда, що дозволяє
звести до мінімуму дрейф, шуми, механічні вібрації
тощо.
Сила тиску голки на поверхню в точці вимірювання складає
-12
10 Н і менше. Тому безконтактний режим дозволяє сканувати
поверхні, які легко деформуються або руйнуються голкою зонда в
контактному режимі, та користуватись зондами з дуже тонкими
голками.
Серйозним недоліком такого режиму є те, що при вимірюванні
в повітрі (а не вакуумі) до спотворення реального рельєфу
поверхні призводить наявність капілярних сил та сил
поверхневого натягу рідини, конденсованої з повітря (рис. 9.3).

АCМ-зображення АCМ-зображення

крапля крапля
зразок води зразок води

а б

Рисунок 9.3 - Схематичне зображення контактного (а) та безконтактного
(б) режимів сканування.

178