Page 76 - 6578
P. 76
Лабораторна робота № 10
ДОСЛІДЖЕННЯ СТРУКТУРИ СПЕЧЕНИХ МАТЕРІАЛІВ
МЕТОДАМИ ЕЛЕКТРОННОЇ МІКРОСКОПІЇ
Теоретична частина
Максимальне збільшення оптичного мікроскопа обмежене
довжиною хвилі світлового випромінювання і складає близько 2500
разів. Для дослідження структури більшості матеріалів таке
збільшення недостатнє і тому використовуються електронні
мікроскопи. Вони поділяються на растрові (рисунок 10.1,
максимальне збільшення 100-150 тисяч разів) і просвічуючі
(максимальне збільшення 250-500 тисяч разів).
Катод
Пучок електронів
Електромагнітні
лінзи
(конденсори)
Детектори електронів
А Б
Зразок
Рисунок 10.1 – Схема растрового електронного мікроскопа
Дія растрового електронного мікроскопа основана на взаємодії
вузького електронного пучка з матеріалом зразка. Електронний
74
