Page 77 - 6578

пучок отримують за рахунок великої прискорюючої напруги (40-50
кВ). Весь робочий об’єм електронного мікроскопа відкачаний до
-5
високого вакууму (10 Па). Вакуум підтримується протягом всього
періоду його роботи і відсутній тільки в момент профілактичної
чистки і заміни катода.
Електромагнітні лінзи (конденсори) – обмотки з мідного
дроту, які служать для створення вузького пучка електронів. Як
правило мікроскоп має три конденсорні лінзи і з їх допомогою
здійснюється фокусування електронного пучка на ділянці поверхні
зразка. Пучок електронів, що проходить через конденсор,
регулюється його магнітним полем, яке, у свою чергу, залежить від
сили струму в обмотці конденсора. Отже робота по фокусуванню
зображення полягає у зміні сили струму, який проходить через
конденсори. Переважно, силу струму 2 конденсорів виставляють на
певне значення у зоні чутливості, а точне настроювання проводять
за рахунок сили струму третього конденсора.
При попаданні електронного пучка на поверхню зразка
частина електронів відбивається і вловлюється детекторами
електронів, які представляють собою металеві сітки під напругою
10-15 кВ. Інша частина електронів залишається у матеріалі і тому
зразок повинен обов’язково бути заземленим для стікання цих
накопичених електронів.
Кількість відбитих електронів, яка фіксується детекторами
електронів А і Б (рисунок 10.1), тобто різниця інтенсивності
електронних потоків на двох детекторах може бути викликана:
1. Мікрорельєфом поверхні (рисунок 10.2).
2. Різним хімічним складом сусідніх точок поверхні матеріалу.
3. Наявністю різних структурних складових (фаз) матеріалу.
4. Наявністю недосконалостей кристалічної гратки.

A Б A Б

A = Б A → Б
Рисунок 10.2 – Зміна інтенсивності електронних потоків на
детекторах електронів у залежності від мікрорельєфу поверхні
75