Page 79 - 6578

електронів, а, відповідно, вносяться спотворення в отримуване
зображення. Крім того порушення вакууму призводить до
замикання пучка електронів не на зразок, а на масу приладу, що при
робочих напругах 10-40 кВ (для просвічуючих мікроскопів – до 200
кВ) викликає вихід з ладу інших електронних компонентів
мікроскопа. Щоб цього не сталося вакуумна система електронного
мікроскопа значно складніша ніж у вакуумних печей та іншого
обладнання (рисунок 10.4).

VE 1 VE 3

VE 4
VE 2 PT 1

PM 1 PM 2 VE 5 PT 6

V 1 V 2
PT 3 PT 4 PT 2
PT 5 VE 6

BL

ND 1
NL 1 ND 2 NL 2

1 G
PT 7
VE – електромагнітні вакуумні клапани; РТ – термопарні
ваккумметри; РМ – іонізаційні вакуумметри; NL – механічні
вакуумні насоси; ND – дифузійні паромасляні насоси;
V 1 , V 2 – електромагнітні вентилі підвищеної швидкодії

Рисунок 10.4 – Схема вакуумної системи
растрового електронного мікроскопа

Вакуумна система мікроскопа має механічні вакуумні насоси
об’ємної дії та дифузійні паромасляні насоси. Крім того у другій
77