Page 80 - 6578

ступені вакуумної системи можуть застосовуватись магнітні
вловлювачі і прилади, в яких вакуум утворюється за допомогою
виморожування повітря рідким азотом. Крім вакуумних насосів до
системи входять електромагнітні клапани і термопарні
перетворювачі для вимірювання температури. Призначенням
електромагнітних клапанів і електромагнітних вентилів підвищеної
швидкодії є забезпечення можливості автоматичного керування
системою і швидка реакція у випадку аварійної втрати вакууму або
відключення живлення.
Вакуумна система керується системами автоматики, які
мають відповідні налаштування і забезпечують перехід до робочого
вакууму в автоматичному режимі.
Для забезпечення можливості заміни зразків в процесі роботи
мікроскопа у нижній його частині біля предметного столика
розміщена шлюзова камера, яка дозволяє проводити заміну зразків
на обертовому предметному столику без втрати вакууму в системі.

Експериментальна частина

Мета роботи – ознайомлення з теоретичними основами
електронної мікроскопії, конструкцією і принципом роботи
растрового електронного мікроскопа, його систем та складових
елементів. Спостереження за процесом одержання зображення.

Матеріали і обладнання:
- мікроскоп електронний растровий РЭММА-202 М;
- зразки спечених матеріалів.

Порядок виконання роботи

1 При вимкненому живленні провести зовнішній огляд складових
частин растрового електронного мікроскопа.
2 Всі подальші дії проводяться виключно оператором
електронного мікроскопа. Самовільне втручання у роботу
мікроскопа може призвести до втрати робочих налаштувань або
виходу з ладу дороговартісного обладнання.
3 Провести відкачування на робочий вакуум у ручному і
автоматичному режимі. Етапи створення робочого вакууму
контролювати за рисунком 10.4.
4 Провести завантаження зразків у робочу камеру мікроскопа за
допомогою шлюзової камери.
5 Встановити налаштування прискорюючої напруги для
матеріалу завантажених зразків.
78