Page 78 - 6578

Принцип формування збільшеного зображення у растровому
(скануючому) електронному мікроскопі полягає у наступному.
Електронний пучок, подібно формуванню зображення в
електронно-променевій трубці монітора чи телевізора, з певною
частотою сканує розглядувану прямокутну ділянку поверхні (сканує
“растр”, звідси і назва “растровий мікроскоп”).
Розгортка пучка електронів який сканує ділянку
досліджуваної поверхні жорстко зв’язана з розгорткою променя
електронно променевої трубки монітора відеоконтрольного
пристрою на якому оператор отримує зображення.
Інтенсивність відбитого електронного потоку до детекторів А і
Б модулює по яскравості сигнал на електронно-променевій трубці
монітора відеоконтрольного пристрою.
У відповідність кожній точці досліджуваної поверхні
ставиться комірка (піксель) на моніторі. Збільшення електронного
мікроскопа утворюється за рахунок геометричної різниці в розмірах
досліджуваного зразка і монітора (рисунок 10.3).
Сканована ділянка зразка Монітор відеоконтрольного
пристрою

10 мкм у 20 тис. раз. 20 см
Збільшимо

15 мкм
30 см
Рисунок 10.3 – Формування збільшеного зображення
у растровому електронному мікроскопі

Для дослідження на просвічуючих електронних мікроскопах за
спеціальною методикою готується тонка плівка матеріалу і
наклеюється на мідне кільце діаметром 3 мм з внутрішнім отвором.
Плівка матеріалу просвічується електронним пучком високої
енергії, створеним за допомогою прискорюючої напруги 100-150
кВ. У залежності від хімічного і фазового складу матеріалу зразка
пучок розсіюється і створює збільшене зображення на спеціальному
екрані мікроскопа.
Робочим середовищем електронного пучка є глибокий вакуум.
При порушенні вакууму електрони під час руху стикаються з
молекулами повітря та порушується процес відбиття, реєстрації
76