Page 91 - 4687

з поверхнею; 2) їх адгезія на поверхні; 3) заростання частинок
основним матеріалом покриття з електроліту.
Електрохімічним способом здійснюють також оксиду-
вання поверхонь. Виріб у цьому процесі виконує роль анода,
тому процес отримав назву анодування. Наприклад, аноду-
вання алюмінію і його сплавів проводять у 20%-й Н 2SO 4 при
кімнатній температурі. Товщина плівки зазвичай не
перевищує 20…30 мкм. Анодування використовується на ба-
гатьох металах, як в декоративних цілях, так і при створенні
діелектричних плівок.

Нанесення газофазних покриттів
Газофазні покриття формуються в результаті осадження
при вибірковому масоперенесенні компонентів з газової фази
на поверхню виробу. Найбільш доцільно для цих цілей вико-
ристовувати сполуки, які легко переходять у газоподібний
стан: карбоніли Мe(СО) n, галогеніди МеСl, гідриди МеОН,
нітриди МеN, металоорганічні сполуки і багато інших. Реакції
протікають з виділенням в покриття елементів, що формують
його.
Термічне розкладання сполук відбувається в процесі
нагрівання в реакційних камерах установок при температурах
400…1400 °С. Узагальнена схема процесу показана на рисун-
ку 1.26. Спрощена схема трубчастої печі показана на рисунку
1.27. Конструкції установок різні в залежності від особливо-
стей процесу осадження елемента в покриття. Промислові
установки являють собою досить складні комплекси, оснащені
автоматикою.
Потік частинок, що формують покриття, отримують з
летючих сполук різними способами: 1) термічним розкладан-
ням; 2) відновленням елементів.

90