Page 93 - 4687

Термічне розкладання летючих сполук здійснюють у ва-
-1
-3
куумі (10 …10 мм. рт. ст.) або в інших середовищах газів-
носіїв. Розкладання простих речовин відбувається за такими-
реакціями:

W(СО) 6=W↓+6СО; (1.34)

В 2Н 6 = 2В↓ + ЗН 2; (1.35)

SіН 4 = Si↓ + 2Н 2. (1.36 )

За цією схемою можуть бути отримані і більш складні
покриття, наприклад з оксидів, боридів та інших сполук, на-
приклад:

2Ti(ВН 4) 3=2ТІВ 2↓+В 2H 6+9Н 2 (1.37)

Відновлення елементів з летючих сполук воднем або па-
рами металів відбувається за реакціями:

SiС1 4+2H 2-Si↓+4НС1; (1.38)

ВCl 3+ЗН 2O=2В↓+6НС1; (1.39)

С 2С1 2 + ВСІ + 4Н 2 = С 2В 2 ↓ + 8HС1; (1.40)

ВС1 3 + NH 3 = BN↓ + ЗHСl; (1.41)

SiC1 4 + 2Zn = Si↓ + 2ZnС1 2 та ін. (1.42)

Згідно з цими реакціями, відновленням у покриттях мо-
жуть бути осаджені як прості речовини, так і складні сполуки:
бориди, карбіди, нітриди, силіциди та ін.

92