Page 92 - 4687

Рисунок 1.26 – Схема циркуляційного способу газового осад-
ження металів на прикладі хрому:1 - реторта з піччю (тем-
пература – 1100 °С), для розміщення оброблюваних деталей;
2 - реторта високотемпературна (1200 °С) з розміщеною
наважкою осаджуваної речовини (хрому); 3 - нагрівач;
4 - вентилятор для організації циркуляційного потоку хлоро-
водневої суміші в замкнутому просторі установки; 5 – вироби

Рисунок 1.27 – Схема трубчастої печі для осадження
кремнію з газової суміші SiСl 4 і H 2:1 - зовнішня труба;
2 - реакційна труба; 3 - виріб; 4 - покриття

91