Page 186 - Міністерство освіти та науки України

її шорсткість, яка впливає на оптичні та адгезійні
властивості матеріалу. Для аналізу шорсткості та
локальної структури поверхні на основі
топографічних зображень була розроблена система
метричних параметрів . До них відносять:
- амплітудні, які характеризують середні
статистичні властивості всієї поверхні;
- функціональні – характеризують рельєф у
локальній області та ступінь гладкості поверхні;
- просторові, які дозволяють визначити анізотропію поверхні та
періодичність структури.
Таким чином, сукупність усіх розроблених апаратних,
програмних і аналітичних можливостей СЗМ перевели
дослідження поверхні матеріалів на новий науковий рівень.
Перейдемо тепер до викладення суті
еспериментальних досліджень поверхні з
використанням АСМ
Розглянемо спочатку характеристики мікроскопа, з

допомогою якого можна провести такі дослідження:

мікроскоп моделі NanoScope IIIa Dimension 3000 TM . На рис.
9.5 подано функціональну схему мікроскопа.

Модуль сканера АСМ та система макроманіпуляцій –
основний модуль АСМ. До його складу входить головка

мікроскопу (блок п’єзосканера із тримачем для зонду та
системою детектування), система макроманіпуляцій на основі

трьох крокових двигунів за допомогою яких здійснюється

185