Page 135 - 4687

міцності покриттів, корозійну стійкість, газопроникність та ін.
У зв'язку з цим цей параметр якості покритті підлягає обов'яз-
ковому контролю. Зазвичай для контролю використовують
зразки-свідки з покриттям, нанесеним за технологією виробу.
Поряд з цим існують методики визначення пористості покрит-
тів безпосередньо на виробі. Найбільш достовірні результати
одержують при аналізі зразків-свідків.
Загальноприйнятою методикою визначення пористості
служить гідростатичне зважування, яке регламентоване стан-
дартом. Найбільш точні результати одержують при гідроста-
тичному зважуванні сколотого покриття з просоченням мате-
ріалу рідиною в камері, з попереднім вакуумуванням.
Пористість покриття за наведеною методикою може бу-
ти визначена і безпосередньо на підкладці.
Для визначення пористості в тонких атомарних покрит-
тях наведена методика дає великі похибки. У зв'язку з цим
використовують методи непрямого аналізу: ультразвуковий;
ультразвуковий, у поєднанні з оптичною голографією, метод
накладення фільтрувального паперу, метод визначення масло-
ємності і багато інших. Пористість покриттів оцінюють також
методом визначення газопроникності.

1.4.5 Визначення товщини і рівномірності покриттів
Необхідна товщина зовнішнього або внутрішнього шару
регламентується параметрами режиму технологічного проце-
су. Діапазон товщин, що підлягають визначенню, виключно
великий – від нанометрового до міліметрового значення. Ос-
таточний контроль товщини покриттів відноситься до найва-
жливішої операції процесу і також здійснюється із застосу-
ванням руйнівних і неруйнівних методів.
До руйнівних методів контролю відносять вимірювання
товщини по мікро- або макрошліфах, зламів або при частин-
ному відділенні покриття від поверхні виробу. Широко засто-
совують і хімічні методи контролю товщини.

134