Page 185 - Міністерство освіти та науки України
P. 185
сканування, є значенням відповідного параметру
(тунельного струму, відхилення коромисла, сили
електростатичного притягання зонда до поверхні чи
більш складної функції) в кожній точці сканованої
області. Функція, яка відображає залежність між
координатами точки на поверхні і положенням точки
в матриці (висоти) задається наступним чином:
Z( x , y ) z i, j , x i x , i y j y j , де х та у –
i
j
розмір кроку сканування в площині зразка; i та j –
номери рядка і стовпця матриці (i = -N/2, …, 0, …
(N/2-1); j = -(N/2-1), …, 0, …. N/2).
По CЗМ-зображенню легко оцінювати рельєф
поверхні, бо, на відміну від електронної чи
оптичної мікроскопії, зондова мікроскопія
реєструє трьохмірні дані, тому заглибина чи виступ
задаються однозначно. Завдання комп’ютерної
обробки полягає в тому, щоб перетворити цю матрицю
у вигляд, зручний для сприйняття користувачем та
статистичного аналізу характеристик
досліджуваної поверхні.
Числа у вихідній матриці лежать в деякому
діапазоні, відповідно, існує мінімальне та
максимальне значення. Цьому діапазону цілих чисел
ставиться у відповідність кольорова палітра,
тобто кожне значення матриці відображається в
точку відповідного кольору на прямокутному
зображенні. Для зручності сприймання точки,
значення яких близькі по величині, відображаються
близькими кольорами.
Однією з найважливіших характеристик поверхні є
184