Page 70 - 6397
P. 70
вання товщини покриттів від 0,01 мкм, при точності вимірю-
вань ± 5 %.
Суть методу вихрових струмів полягає в тому, що елек-
тричний струм, який наводиться магнітним потоком котушки
в покритті і основі створює вторинний магнітний потік, на-
прямлений назустріч першому (рис.5.2,е). При зменшенні опо-
ру вторинному струму, у випадку добре провідних матеріалів,
збільшується вплив вторинного потоку. Останній змінює пер-
винний струм котушки, який вимірюється міліамперметром,
покази якого відповідають товщині покриття при постійних
параметрах електричної провідності. Метод дозволяє здійсню-
вати лише дискретні вимірювання із середньою точністю
± 3...± 5 %.
Метод найчастіше застосовують для таких поєднань ма-
теріалів:
– струмонепровідні покриття на електропровідному не-
феромагнітному матеріалі (діапазон вимірюваної товщини
0...500 мкм);
– електропровідний неферомагнітний шар на струмоне-
провідній основі (можна вимірювати товщину від 1 мкм до
декількох мм);
– електропровідне неферомагнітне покриття на електро-
провідній основі (глибина проникнення вихрових струмів по-
винна перевищувати товщину покриття, а електрична провід-
ність матеріалу покриття і підкладки повинні бути достатньо
різні).
Термоелектричний метод (рис.5.2, ж) використовується
для таких поєднань покриттів і основного матеріалу, при яких
забезпечується виникнення термо-ЕРС, достатньої для вимі-
рювання при нагріванні випробувального щупа до 100...
150 °С. Діапазон товщини, що виміряється, складає 4...50 мкм,
похибка вимірювання ± 10...± 15 %.
Оптичні методи застосовують для вимірювання товщи-
ни тонких покриттів, що мають добрі оптичні властивості (на-
приклад, прозорі покриття). Виміряти товщину прозорого ша-
ру можна за допомогою мікроскопа, різкість якого наводиться
на поверхню покриття і підкладки. Різниця показів рівнів на-
69