Page 67 - 6397

від порядкового номера елемента в періодичній системі і тов-
щини шару, що вимірюється. Метод зворотного розсіювання
застосовується для вимірювання товщини покриття при всіх
поєднаннях матеріалів, коли порядкові номери (Zo – матеріалу
основи, Zп – матеріалу покриття) значно відрізняються один
від одного, зокрема коли виконується умова |Zo–Zn| >3.
Метод, який базується на вимірюванні поглинання, мож-
на використовувати при будь-якому поєднанні матеріалів. В
залежності від типу джерела випромінювання маса поєднання
основний матеріал – покриття на одиницю поверхні може
-1 4 2
складати приблизно від 1∙10 до 2∙10 мг/см . Точність вимі-
рювань складає ± 3...± 10 % в залежності від матеріалу.
Рентгенофлуоресцентний метод – збудження атомів за
допомогою бета- або квантового випромінювання, при якому
збуджені атоми емітують рентгенівське випромінювання, ін-
тенсивність якого залежить від числа випромінюючих атомів,
тобто від товщини шару – особливо успішно застосовується
при вимірюванні товщини дуже тонких покриттів – приблизно
до 10 мкм. При цьому повинна виконуватися умова |Zo–Zn| ≥
≥ 1. Діаметр поля вимірювання повинен бути не менше 10 мм.
Магнітні методи вимірювання товщини покриття осно-
вані на прямому або непрямому використанні сил взаємодії з
основою або вимірюванні інтенсивності магнітного поля.
При наближенні магніту до феромагнітної деталі вини-
кає сила притягання, яка залежить від відстані між магнітом і
виробом. Ця сила, яка необхідна для відриву магніту від ос-
новного матеріалу, покритого шаром неферомагнітного мате-
ріалу, є непрямою мірою товщини покриття. Даний магнітний
метод застосовується в приладах з електромагнітом, де сила
відриву осердя від контрольованого виробу визначається ве-
личиною струму намагнічування, що протікає через котушку
електромагніту у момент відриву осердя від виробу (рис.5.2,
а). Метод придатний для вимірювання товщини шарів до
10 мм з точністю 10...15 % при вимірюванні в окремих точках.
При використанні в якості контрольованого параметра
магнітного потоку детекторами можуть служити давачі Холла
(рис.5.2,б).

66