Page 60 - 6578

відкачування вакуумного об’єму, до якого насос приєднується
впускним патрубком.
Дифузійні паромасляні насоси є найбільш поширеним
високовакуумним засобом відкачування і широко застосовуються у
різних областях вакуумної техніки. Паромасляні насоси дозволяють
створювати вакуум до 10-5 Па.
Трьохступінчастий дифузійний паромасляний насос (рисунок
8.4) має циліндричний корпус 12, який охолоджується холодною
водою, що протікає по змійовику 2.

1 – фланець приєднувальний; 2 – змійовик водяного охолодження;
3 – патрубок випускний; 4 – електронагрівач; 5 – масло;
6, 7, 8 – паропроводи першої, другої і третьої ступіней;
9, 10, 11 – сопла третьої, другої і першої ступіней;
12 – корпус; 13 – напрям відкачування

Рисунок 8.4 – Трьохступінчастий дифузійний паромасляний насос

58