Page 56 - 6578

Основним елементом вакуумних систем (рисунок 8.2) є
насоси, які призначені для створення необхідного вакууму, а також
для підтримки робочого тиску при здійсненні технологічного
процесу.

1лм 1лт
4 3 7

6

8

2лм 2лт
5
3лт

2

1

1 – насос механічний; 2 – насос дифузійний; 3 – засувка;
4 – камера нагрівальна; 5, 6 – вентилі перепускні;
7 – вентиль напуску газового захисного середовища;
8 – вентиль напуску повітря в механічний насос;
1, 2 , 3лт – термопарні лампи для вимірювання вакууму;
1, 2 , 3лм – іонізаційні лампи для вимірювання вакууму

Рисунок 8.2 – Схема вакуумної системи печі

Для створення вакууму використовуються механічні
форвакуумні і двохроторні насоси, паро струменеві дифузійні, а
також криогенні і турбомолекулярні насоси.
При здійснені процесу спікання необхідно створювати тиск в
5
-5
межах від 10 Па (атмосферний) до 10 Па і нижче. Жоден з
54