Page 57 - 6578

перерахованих насосів не може самостійно забезпечити
відкачування від атмосферного тиску до високого вакууму по
наступних причинах. По-перше, при такому широкому діапазоні
тисків суттєво відрізняються умови відкачування і, по-друге, кожен
насос володіє вибірковістю по відношенню до газів, які входять до
складу повітря.
-5
Для створення технологічного вакууму 10 Па включають
каскадно (послідовно) кілька насосів різних типів. Крім того, для
кожного інтервалу тисків і для різних газів існують свої методи
відкачування, не оптимальні для різних умов.
Основні параметри вакуумних насосів: граничний
залишковий тиск, швидкість дії, найвищий тиск запуску і
випускний тиск, які звичайно наводяться в паспортних даних.
Найменший залишковий тиск – це найменший тиск, який
може бути створений даним насосом при закритому вхідному
патрубку. При цьому розуміється відсутність натікання в насос
зовні зі сторони його вхідного патрубка. Цей параметр обумовлює
неможливість побудови насоса, який сам не був би навіть дуже
слабким джерелом газів у вакуумну систему.
Швидкість дії – це об’єм газу, який насос відкачує за
одиницю часу при даному тиску на вході в насос (в перерізі
вхідного патрубка). Найбільш поширеними одиницями
3
вимірювання швидкості дії є м /год і л/с. По постійності швидкості
дії при зміні тиску можна судити про якість насоса, яка тим вища,
чим менше змінюється швидкість дії при зменшенні тиску у
вхідному патрубку.
Найбільший тиск запуску – це найбільший тиск у вхідному
патрубку, при якому насос починає нормально працювати, тобто
відкачувати під’єднану вакуумну камеру.
По цьому параметру вакуумні насоси можна розділити на дві
групи. До першої відносяться насоси, найбільший тиск запуску
який дорівнює атмосферному (механічні форвакуумні). До другої
входять насоси, які для роботи потребують попереднього
розрідження або попереднього вакууму створеного механічним
форвакуумним насосом. Насос попереднього вакууму приєднують
впускним патрубком до випускного патрубка насоса, який потребує
попереднього розрідження.
Найбільший випускний тиск – найбільший тиск у вихідному
патрубку, при якому насос ще може виконувати відкачування тобто
при перевищенні якого відкачування припиняється. Для механічних
форвакуумних насосів цей тиск перевищує атмосферний, а для
насосів, які потребують попереднього вакууму, він приблизно
дорівнює найбільшому тиску запуску.
55