Page 81 - 6391

Електричні методи засновані на тому, що багато елек-
тричних характеристик матеріалу за певних умов прямо зале-
жать від його товщини.
На рис. 9.1 зображено: 1-котушка електромагніту; 2- по-
криття; 3-основа; 4-сердечник з магніто-м'якої сталі; 5- пласт-
масова або скляна трубка; 6-міліамперметр з шкалою, програ-
дуйованою в мікрометрах; 7-вимірювальний прилад; 9 –давач
Холла; 10- стержневий магніт; 11-вимірювальна обмотка; 12-
джерело струму; 13-генератор; 14-котушка індуктивності; 15-
вимірювальний електрод; 16-частотомір; 17-котушка збуд-
ження; 18-вимірювальний щуп; 19-нагрівальний елемент; 20-
підсилювач.
При вимірюванні величини електричної провідності, яка
пропорційна товщині покриття, використовують чотири елек-
троди (рис.9.1, г). Два з них підключають до джерела елек-
тричного струму, а два внутрішні електроди сполучають з
електричним вольтметром, покази якого характеризують тов-
щину вимірюваного покриття. Цим методом можна виміряти
товщину покриттів із струмопровідного або напівпровіднико-
вого матеріалу, нанесеного на неструмопровідну основу. Про-
відність покриття залежить від його товщини, причому точ-
ність вимірювання може складати ± 2 %. Процес вимірюван-
ня дискретний.
У разі вимірювання товщини покриття з струмонепро-
відного матеріалу на струмопровідній основі зручний метод
ємності, при якому діелектричні властивості покриття впли-
вають на ємність конденсатора, включеного в коливальний
контур (рис.9.2, д). Товщина покриття пропорційна квадрату
частоти коливального контура. Метод придатний для вимірю-
вання товщини покриттів від 0,01мкм, при точності вимірю-
вань ± 5 %.
Суть методу вихрових струмів полягає в тому, що елек-
тричний струм, який наводиться магнітним потоком котушки
в покритті і основі створює вторинний магнітний потік, на-
прямлений назустріч першому (рис.9.1, е). При зменшенні
опору вторинному струму, у випадку добре провідних мате-
ріалів, збільшується вплив вторинного потоку. Останній змі-

80