Page 78 - 6391

бути використані для контролю товщини покриття. Їх розді-
ляють на три групи: широко застосовувані, застосовувані й
рідко застосовувані. До першої групи відносять магнітні,
вихреструмові і радіаційні; до другої – електричні, радіохви-
льові, оптичні; до третьої – теплові й акустичні.
Радіометричні методи основані на використанні власти-
вості радіоактивного випромінювання вступати у взаємодію з
матеріалом. При впровадженні пучка радіоактивних частинок
у матеріал, їх розсіювання відбувається у всіх напрямках.
Частка зворотньо розсіяних частинок використовується як не-
пряма міра товщини розсіюючого шару. Інтенсивність зво-
ротнього розсіювання при постійних параметрах джерела ви-
промінювання (радіоізотопа) і постійної геометрії давачіів
залежить від порядкового номера елемента в періодичній сис-
темі і товщини шару, що вимірюється. Метод зворотнього
розсіювання застосовується для вимірювання товщини по-
криття при всіх поєднаннях матеріалів, коли порядкові номе-
ри (Zo – матеріалу основи, Zп – матеріалу покриття) значно
відрізняються один від одного, зокрема коли виконується
умова |Zo–Zn| >3.
Метод, який базується на вимірюванні поглинання,
можна використовувати при будь-якому поєднанні матеріа-
лів. У залежності від типу джерела випромінювання маса
поєднання основний матеріал – покриття на одиницю поверх-
2
-1
2
4
ні може складати приблизно від 1∙10 мг/см до 2∙10 мг/см .
Точність вимірювань складає ± 3 % або ± 10 % в залежності
від матеріалу.
Рентгенофлуоресцентний метод – збудження атомів за
допомогою бета- або квантового випромінювання, при якому
збуджені атоми емітують рентгенівське випромінювання,
інтенсивність якого залежить від числа випромінюючих ато-
мів, тобто від товщини шару – особливо успішно застосову-
ється при вимірюванні товщини дуже тонких покриттів –
приблизно до 10 мкм. При цьому повинна виконуватися умо-
ва |Zo–Zn| ≥ 1. Діаметр поля вимірювання повинен бути не
менше 10 мм.

77