Page 177 - 4679

П’єзокварцові манометри дозволяють вимірювати тиск до 100 МПа і широко
застосовуються при вимірюванні циклічно мінливих тисків великої частоти. Чутливість
таких перетворювачів можна підвищити, використовуючи більшу кількість кварцових
пластин, збільшуючи активну площу мембрани або подовжуючи пластину.
Недоліком п’єзокварцових манометрів є низька точність вимірювання статичного
тиску через витік електричного заряду, а гідністю - низька температурна похибка.
Розглянемо як приклад електронні манометри компанії ПГ «Метран» (м.
Челябінськ), виготовлені спільно з «Emerson Process Management». Це датчик тиску
серії 3051С з сенсорним модулем на базі ємнісної комірки (рис. 5.24, а) і датчик тиску
серії 3051Т із сенсорним модулем на базі п'єзорезистивної комірки (рис. 5.24, б)

Рисунок 5.22 – Електричні манометри тиску: а) датчик 3051С; б) датчик 3051T

Датчики призначені для вимірювання перепаду тисків; хаотичного, абсолютного
тисків рідини, пару і газу з верхніми межами вимірювань для моделі 3051С від 0,025 до
27580 кПа і для моделі 3051Т від 2,07 до 68950 кПа.
У датчиках серії 3051 використовуються два види сенсорних модулів на базі
ємнісної та п'єзорезистивних клітинок (рис. 5.25). Для датчиків перепаду тисків і
датчиків надлишкових тисків використовують ємнісну осередку, для датчиків
абсолютного та надлишкового тисків – п’єзорезистивну комірку.

176