Page 176 - 4679

П'єзоелектричний манометр - електричний манометр, принцип дії якого
заснований на залежності електричного заряду п'єзоелемент від вимірюваного тиску.
Магнітний електророзрядний манометр - іонізаційний манометр, принцип дії
якого заснований на залежності струму електричного розряду в магнітному полі від
вимірюваного тиску.
Манометр опору - електричний манометр, принцип дії якого заснований на
залежності електричного опору чутливого елемента від вимірюваного тиску.
Радіоізотопний манометр - іонізаційний манометр, в якому для іонізації газу
застосовують випромінювання радіоізотопних джерел.
Тепловий манометр - манометр, принцип дії якого заснований на залежності
теплопровідності розрідженого газу від тиску.
Термопарний манометр - тепловий манометр, в якому використана
залежність термоЕРС термопари від вимірюваного тиску.
В'язкісний манометр - манометр, принцип дії якого заснований на залежності
в'язкості розрідженого газу, яка визначається рухом в ньому твердого тіла, від
вимірюваного тиску.
Розглянемо електричні манометри, принцип дії яких заснований на залежності
електричного опору речовин від зміряють тиск. Їх називають тензоперетворювачами,
які виготовляють з напівпровідників, константна, платини, сплавів міді і нікелю. У
приладах тиску їх використовують як чутливість елементів, механічно з'єднаних з
мембраною або пружиною приладу, яка деформується під дією вимірюваного тиску
(рис. 5.23). Чутливі елементи можуть бути виготовлені з напиленими
напівпровідниковими сполуками.

Рисунок 5.23 – Спрощена схема розміщення напівпровідникових тензоопорів
на поверхні мембрани.
Тензоперетворювачі з напівпровідників, в порівнянні з металевими, володіють
більшою чутливістю, малими розмірами і масою.
Для вимірювання високих тисків (до 1000 МПа) застосовують
тензоперетворювачі з манганіну. Недоліками є залежність показань приладу від
температури вимірюваного об'єкта, тому для усунення даного недоліку вводять в
вимірювальну схему приладів пристрої з тензоперетворювачами і термокомпенсацією.
Принцип дії інших електричних приладів для вимірювання тиску заснований на
використанні п'єзоелектричного ефекту. Ефект пов'язаний з появою електростатичних
зарядів на гранях кристалів кварцу при їх деформації уздовж осі перпендикулярно цим
граням. Кристали виконують у вигляді двох пластин, механічно з'єднаних з
мембраною, на яку впливає вимірюваний тиск.

175