Page 41 - 4738

Лабораторна робота № 7

ВІЗУАЛЬН0-ОПТИЧНИЙ КОНТРОЛЬ ОБ'ЄКТІВ
МІКРОЕЛЕКТРОНІКИ

Мета роботи: навчитись проводити контроль якості
виробів мікроелектроніки та інших за допомогою
стереоскопічного мікроскопа.
Програма роботи:
1) навчитись проводити спостереження об’єктів
мікроелектроніки за допомогою стереоскопічного мікроскопа
МБС-10;
2) навчитись визначати дефекти об’єктів мікроелектроніки;
3) зробити висновки про якість досліджуваних об’єктів на
основі спостережень.

Обладнання: мікроскоп МБС-10; вироби
мікроелектроніки (різні типи транзисторів, мікросхем і т.п.) у
відкритих корпусах.

Необхідні відомості

Візуально-оптичний контроль об'єктів мікроелектроніки
в технологічному процесі їх виготовлення полягає у
візуальному огляді під мікроскопом обстежуваного виробу з
метою виявлення виробничих дефектів для уникнення браку
продукції. При цьому використовують для порівняння
еталонні вироби або їхні зображення.
Візуально-оптичним методом контролюють зовнішній
вигляд основи і кришок корпусів діодів, транзисторів та
інтегральних схем, зваренні і спаяні шви, з’єднання скло-
метал, контактні площадки, якість покриття дна основи; в
заготовках наявність включень, бульбашок, сколів, подряпин,
напливів, плям, жирових забруднень, точок і ін.; якість
поверхні золотих чи алюмінійових провідників (наявність
включень, плівок, тріщин, раковин, вм’ятин, розшарувань);
зовнішній вигляд напівпровідникових пластин після
механічної і хімічної обробки (наявність бурих плям, сколів,
локальних нерівномірносткй блиску, тріщин, ямок, горбків,
рисок, забруднень, чужорідних плівок). Також визначають
зовнішній вигляд пластин після окислення (сліди забруднень,

40